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プローブ・ステーション

プローブ・ステーション

150 mm、200 mm、300 mm / セミオート、マニュアルのラインナップを提供しております。高周波特性、DC/CV測定、高電圧・大電流、温度特性、など様々なアプリケーションに対応したプローブ・ステーションをご紹介いたします。


300mm Probe Stations

CM300 Probe System

CM300は、日々進化する機能面や自動化へのご要求に合わせて拡張できる、柔軟性を持ったウェハ測定プラットフォームです。安全で高速なウェハ搬送、自動測定の簡素化、さらに測定システムとのインテグレーションが可能です。 Elite300は、I-V、C-V、1/f、RF/mm測定においては、比類のない低雑音環境下での高精度かつ安全な測定を保証します。 [詳細]

200mm Probe Stations

カスケード・マイクロテック社のオン・ウェーハ測定用200mmプローブ・ステーションは、MEMS、真空、加圧、極低温、高周波特性、DC/CV測定、高電圧・大電流、温度特性、など様々なアプリケーションに対応します。 [詳細]

150mm プローバ

EPS150FA Probe Station

MPS150解析用マニュアル・プローバは、150 mmまでのウェーハや基板の解析を精密にできるコストパフォーマンスの高い製品です。高周波、不良解析やパワーデバイス特性評価など、幅広いアプリケーションに対応します。 [詳細]

基板測定

Board Test System R1000

カスケード・マイクロテックは、ローコストで水平/両面基板テストシステム、ICパッケージや回路基板の高精度な電気信号測定を可能にしています。 [詳細]

オンウェーハ・パワーデバイス測定システム

Tesla On-Wafer Power Device Characterization System

業界初のオンウェーハ・パワーデバイス測定システムであるTeslaは、100 A / 10 kVまでの高低温度測定、低接触抵抗測定を実現し、パワーデバイスの迅速な市場投入を実現します。 [詳細]

真空プローブ・ステーション

Vacuum Probe Systems

RF MEMSデバイス、共振器、マイクロボルトメータのように多くのMEMSデバイスが動作用に真空環境を必要としています。それらデバイスは宇宙空間のように真空で動作させる必要があります。デバイスの測定は通常パッケージングされた後に行われていますが、非常に高価なプロセスであり、デバイスコストの60~80%を占めています。カスケード・マイクロテックは、そのような要求にオン・ウェーハ測定用真空プローブ・ステーションを提供します。 [詳細]

極低温プローブ・ステーション

Cryogenic Probe Systems - 2

最先端の研究では、より低温が求められており、超伝導材料の研究はまさしく最先端です。半導体デバイスが、より小さくなり、更に新素材が使用されると、これらデバイスの特性は現在の理論で完全に説明されるというわけではありません。 したがって、今日行われている基礎研究の多くが、低温でこれらの新しい物質をテストすることが必要とされています。 高電子移動度トランジスタ(HEMT)、赤外線の焦点面アレイ、および超伝導体を含むこれらの物質が、おそらく次世代デバイスの一部になるでしょう。 [詳細]

加圧プローブ・ステーション

Pressure Probe System

加圧プローブ・ステーション、PAP200LP、およびPAP200HPは大気中とは異なるガス雰囲気中、または、湿度で作動する圧力センサや他のデバイス・テストも可能にします。デバイスをパッケージして不良のダイをテストする代わりにパッケージの前のウェーハ・レベルにおける加圧プローブビングでテストする。これは製造コスト低減と製品の市場投入を加速します。 [詳細]