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150mm プローバ

150mm Wafer

小型で有能なマニュアル・プローバ

MPS150は、150 mmまでのウェーハや基板の精密解析を可能にするコストパフォーマンスの高いマニュアル・プローバです。I-V/C-V、RF/ミリ波、サブテラヘルツ測定、デバイス特性評価、不良解析、サブミクロン・プロービング、MEMSや光デバイスなど、幅広いアプリケーションに対応します。最大16個のポジショナを安定したプラテンに搭載することにより、プローブカード同様の機能を提供し、ウェーハ・レベル信頼性評価測定も可能です。

  • 柔軟性 − アップグレードや構成変更が容易で幅広いアプリケーションに対応可能
  • 安定性 − 安定した顕微鏡マウントと防振機能を含めた高剛性のプローバ設計
  • 使いやすさ − 人間工学的なデザインにより、簡単でシンプルな操作が可能

各種アプリケーション用の統合パッケージ

MPS150をベースにしたプロービング・パッケージは、各種測定に必要なアクセサリやツールを全て提供し、高精度で信頼性の高い測定結果を最短時間で達成します。


I-V/C-V DCパラメトリックおよび低ノイズ測定

EPS150COAXとEPS150TRIAXは、正確で信頼性の高い測定結果を短時間で達成するために必要な全ツールを統合ソリューションとして提供します。 EPS150COAXは、pAレベルでのDCパラメトリック•テストに最適です。EPS150TRIAXは、fAレベルの低ノイズのI-V/C-V測定用のパッケージです。

EPS150COAX Flyer (DCパラメトリック測定用)
EPS150COAXPLUS Flyer
EPS150TRIAX Flyer (fAレベルのI-V/C-V測定用)
DC Paramtric Test Probe Station EPS150COAX
EPS150COAX Probe System

RF 67 GHzまでの高精度RF測定および校正

EPS150RFは、正確で信頼瀬の高い測定結果を短時間で達成するために必要な全ツールを統合ソリューションとして提供します。最小25μm×35μmまでの微細パッド・プロービングを実現し、67 GHzまでの高精度RF測定技術を提供します。

EPS150RF Flyer (RF測定用)
RF Test Probe Station EPS150RF
EPS150RF Probe System

MMW 67GHz以上のミリ波/サブテラヘルツ帯域での測定およびロードプル測定

EPS150MMWは、正確で信頼瀬の高い測定結果を短時間で達成するために必要な全ツールを統合ソリューションとして提供します。テラヘルツ周波数帯域での高精度の測定を実現します。

EPS150MMW Flyer (ミリ波およびサブテラヘルツ測定用)
MMW Probe Station EPS150MMW
EPS150MMW Probe System

Faliure Analysis 不良解析およびサブミクロン・レベルのインターナルノード・プロービング

EPS150FAは、正確で信頼瀬の高い測定結果を短時間で達成するために必要な全ツールを統合ソリューションとして提供します。1μm以下の微細構造のプロービングを実現し、電気的故障解析、不良箇所の検出およびデバッグなどに最適です。

EPS150FA Flyer (不良解析用)
FA Probe Station EPS150FA
EPS150FA Probe System

パワー・デバイス測定

EPS150TESLAは、正確で信頼性の高い測定結果を最短時間で達成するために必要な全ツールを統合ソリューションとして提供します。このシステムは、MOSFET、IGBT、BJTなどのパワー・デバイス測定のために、大電流・大電圧プロービングを最小のオン抵抗で実現します(最大電圧:3kV(三軸)/10kV(同軸)、最大電流:100 A)。

EPS150TESLA Flyer
EPS150TESLA Data Sheet
EPS150TESLA Facility Planning Guide
EPS150TESLA - Hight Power Probe Station
EPS150TESLA Probe System