カスケード･マイクロテックのパワー・デバイス特性評価用システムは、精度とスループットの高い測定を実現します。

• EPS150TESLA：コスト･パフォーマンスの高いMPS150 マニュアル･プローバをベースとした、パワーデバイス評価用のプロービング･パッケージです。150 mmウェーハ、10 kV/100 A（パルス）測定に対応します。
• Tesla200/300：200 mm または 300 mmウェーハ用のセミオート･プローバです。接触抵抗を低減し、最大3 kV（トライアキシャル）/10 kV（コアキシャル）および200 A (パルス)/10 A (DC)までの高精度のパワーデバイス特性評価を幅広い温度範囲で実現します。
• APS200TESLA：薄いTAIKOウェーハに対応するハイパワー･チャックや、アーキング防止機能およびオートディスチャージ機能を備えた、200 mmウェーハ用のフルオート･プローバです。安全な測定環境を提供し、スループットと精度の高い、最大10.5 kV/400 Aまでのパワー･デバイスの量産テストを実現します。